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產(chǎn)品類別:精密半導(dǎo)體清洗設(shè)備
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產(chǎn)品功能:
◆設(shè)備烘干,然結(jié)一體化結(jié)構(gòu)緊湊合理,符合半導(dǎo)體制造標(biāo)準(zhǔn)。
◆穩(wěn)定可靠的工藝溫度控制系統(tǒng)(采用英國WEST溫度控制器)。
◆采用美國進(jìn)口加熱燈管加熱。
◆采用先進(jìn)的文氏排氣系統(tǒng),從而保證了有害氣體的不泄露。
◆設(shè)備控制采用工業(yè)控制機(jī)統(tǒng)一控制。
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